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PECVD石墨舟
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核心技术能力
5
高
高化学稳定性
高精度
高纯度
高密度
高强度
4
耐
耐酸碱性强
耐磨性能好
耐腐蚀
耐高温
1
材料
原材料选用高纯石
墨、等静压石墨、进
口石墨
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